【第一參賽人/留學(xué)人員】趙紅艷,魯翠
【留學(xué)國家】暫無
【技術(shù)領(lǐng)域】高端裝備與新能源汽車
【參賽屆次】第2屆
【所獲獎項(xiàng)】優(yōu)勝獎
【項(xiàng)目簡介】
半導(dǎo)體減薄晶圓倒片機(jī)系統(tǒng),由北京銳潔機(jī)器人科技有限公司研發(fā)生產(chǎn),并于2015年入選北京市新技術(shù)新產(chǎn)品(服務(wù))。該款產(chǎn)品由高潔凈機(jī)械手臂、高精度校準(zhǔn)器以及高效空氣過濾裝置等主要模塊組成。創(chuàng)新性的采用業(yè)內(nèi)首次使用的PLC控制方式的MES通訊軟件和晶圓、墊紙識別技術(shù)以及針對減薄晶圓設(shè)計(jì)的非接觸式伯努利手指,徹底解決減薄晶圓抓取易污染、破損的技術(shù)難點(diǎn)。同時(shí)該設(shè)備中新加入的靜電消除器,可消除晶圓表面及晶圓層間紙上所帶的靜電荷,確保carrier與box之間正常互傳作業(yè)。銳潔生產(chǎn)的該設(shè)備在滿足高效傳輸?shù)耐瑫r(shí),解決了晶圓污染碎片問題,打破了國外設(shè)備在中國半導(dǎo)體市場形成的競爭壟斷。公司新開發(fā)的此產(chǎn)品現(xiàn)已成功實(shí)施運(yùn)用,性能穩(wěn)定,質(zhì)量可靠,生產(chǎn)效率高,取得了晶圓廠商的高度認(rèn)可。隨之國內(nèi)半導(dǎo)體晶圓芯片生產(chǎn)設(shè)備的需求量進(jìn)一步擴(kuò)大,作為國內(nèi)屈指可數(shù)的半導(dǎo)體高端設(shè)備生產(chǎn)廠家之一,銳潔機(jī)器人正在加快步伐搶占國內(nèi)市場,憑借20年專業(yè)的機(jī)械手臂和半導(dǎo)體集成設(shè)備研究與開發(fā),不斷擴(kuò)大市場份額,提升公司品牌影響力。
【展開】
【收起】