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電子信息產(chǎn)業(yè)是我國支柱產(chǎn)業(yè)，廣東省電子制造業(yè)占全國1/5強。遵從摩爾定律（每18—24個月，性能翻翻，價格不變），芯片尺寸持續(xù)減小，集成規(guī)模不斷增加，芯片技術(shù)10年內(nèi)由90nm，到45nm、22nm、12nm制程躍遷，即將推出7nm制程光刻裝備，5nm制程裝備也在開發(fā)中。在不到10年的時間，電子封裝設(shè)備的精度也從幾十個微米提高到微米級。下一代封裝設(shè)備要求實現(xiàn)亞微米甚至納米級定位精度，檢測設(shè)備需要的精度要求更高，通常比制造裝備高一個數(shù)量級。 然而，由于軸系摩擦和運動平臺彈性變形以及振動的制約，電子封裝設(shè)備中廣泛使用的機械導(dǎo)軌式直線電機運動模組精度難于突破微米級。更高精度要求目前是依賴氣/液/磁懸浮減小甚至消除摩擦來實現(xiàn)，其價格昂貴，使用要求苛刻。另外，由于高加速過程中，平臺不可避免地發(fā)生彈性變形和振動，使其加速度的提高受限制，不適用于量大面廣且對速度和精度都有更高要求的電子制造裝備。因此，必須在機構(gòu)原理和運動控制方法上創(chuàng)新，低成本實現(xiàn)更高速度和更高精度。產(chǎn)品主要體現(xiàn)在三方面：（1）運動規(guī)劃算法，通過運動全過程的非線性動力學(xué)優(yōu)化，實現(xiàn)了諧振的避免和主要振動的互相抵消，繞開了MIT的輸入整形專利技術(shù)，并避免了輸入整形帶來執(zhí)行時間的延長。獲得了省專利金獎和國家專利優(yōu)秀獎。（2）動態(tài)特性可調(diào)微動平臺，將弦樂器的調(diào)頻原理用于柔性鉸鏈平臺的設(shè)計，實現(xiàn)了制造誤差的消除和動態(tài)特性變工況匹配，擴大了納米平臺的應(yīng)用范圍。（3） 將無摩擦納米形變的柔性鉸鏈與高速直線電機相結(jié)合，用彈性變形補償導(dǎo)軌的摩擦死區(qū)，可以用機械導(dǎo)軌的成本，實現(xiàn)接近氣浮導(dǎo)軌的精度。本項目攻克機械導(dǎo)軌直線平臺定位精度只有微米級的極限，實現(xiàn)平臺設(shè)計與控制技術(shù)的變革，為下一代電子封裝和激光加工提供低成本的超精密運動平臺。 【展開】 【收起】